用于半导体生产的主要设备供应商，目前均为国际厂商，因此中国未来几年巨额的半导体投资，实际上面临着被设备卡脖子的危机。半导体检测贯穿于产品生产制造流程始终，通过分析检测数据确保产品工艺参数符合设计需求，并用以确定问题来源，及时采取修正措施，从而达到减少缺陷、提升产线良率的目的，良率的提升直接影响厂商的生产成本和订单获取能力。国际AOI厂商，没有很强的缺陷分类能力，因此对于新投资的半导体厂商改善工艺和品质的帮助不大。透过AOI收集的图片，新产品的良率，产量甚至厂商的能力和瓶颈有机会被推算出来，这对半导体厂商是非常不利的。因此发展国产AOI检测设备，是半导体投资能够取得成功关键的一环。
2023年5月5-7日，“2023碳化硅关键装备、工艺及其他新型半导体技术发展论坛”将于长沙召开。论坛在第三代半导体产业技术创新战略联盟的指导下，由极智半导体产业网与中国电子科技集团第四十八研究所联合组织筹办。论坛将围绕 “碳化硅衬底、外延及器件相关装备产业创新发展”、“关键零部件及制造工艺创新突破”、“产业链上下游协同创新”、“氮化镓与氧化镓等其他新型半导体”，邀请产业链上下游的企业及高校科研院所代表深入研讨，携手促进国内碳化硅及其他半导体产业的发展。
期间，高视半导体副总经理邹伟金将出席论坛并带来题为《SIC晶圆全制程质量控制解决方案》的报告，分享最新的解决方案。据了解高视半导体推出了针对SIC制程晶圆质量控制系统级解决方案（AOI-ADC-GOINFO），AOI能快速高灵敏的帮助制程发现缺陷，ADC根据AOI提供的缺陷进行精确分类，GOINFO根据分类结果及工艺数据，进行大数据分析，为SIC晶圆制程提供数据分析及工艺指导，从而提升产品良率。
嘉宾简介
光学工程硕士，2017年加入高视科技（苏州）股份有限公司，现任苏州高视半导体技术有限公司副总经理，主导半导体晶圆检测系统的设计及研发工作。13年光学检测系统从业经验，主导开发的检测系统批量应用在LCD、OLED、LED等泛半导体以及化合物半导体等领域，在工业光学检测领域申请相关专利45项，授权30项。
关于高视科技
高视科技（苏州）股份有限公司是一家专业从事工业AI智能机器视觉应用系统解决方案研发的国家级高新技术企业，是行业领先的商用显示模组（OLED\MINILED\MICRO-LED\LCD等）、锂电池及新能源制程设备、半导体等领域全自动化AOI检测以及工业机器视觉应用系统与标准化开发平台供应商。为中国图像图形学会视觉检测分会会员单位、中国自动化学会战略合作单位、深圳市平板显示行业协会十佳优秀会员单位、广东省高成长企业、粤港澳大湾区人工智能30强企业。截至目前，公司已形成较为完善的工业AI智能机器视觉应用技术与产品体系，为工业行业提供AOI智能检测整体解决方案、标准化AI机器视觉深度学习开发平台、工业缺陷标准化数据库服务、嵌入式机器视觉模块化产品及终端自动化设备。
公司在北京、南京、苏州及惠州设立研发中心，拥有一支行业资深的专业研发团队，研发人员占比超过80%，为广东工业大学博士后创新实践基地、南昌大学工学硕士授予点及教育部厦门大学卓越工程师实习基地，具备较强的软硬件系统研发与产学研商业转化实力，为行业客户提供高水准产品与服务。公司以技术研发为核心，以客户需求为导向，争做智能机器视觉专家，助力产业升级。致力于成为智能机器视觉领域，受人尊敬的领先企业。
更多论坛信息
组织机构
指导单位
第三代半导体产业技术创新战略联盟
主办单位
极智半导体产业网(www.casmita.com)
承办单位
中国电子科技集团公司第四十八研究所
北京麦肯桥新材料生产力促进中心有限公司
协办单位
湖南三安半导体有限责任公司
浏阳泰科天润半导体技术有限公司
中车时代电气股份有限公司
中南大学
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赞助支持
湖南三安半导体有限责任公司
浏阳泰科天润半导体技术有限公司
宁波恒普真空科技股份有限公司
苏州高视半导体技术有限公司
忱芯科技（上海）有限公司
苏州博宏源机械制造有限公司
江苏晶工半导体设备有限公司
苏州德龙激光股份有限公司
北京特思迪半导体设备有限公司
布鲁克（北京）科技有限公司
山东海金石墨科技有限公司
湖南德智新材料有限公司
浙江凯威碳材料有限公司
哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司
浙江飞越机电有限公司
中电科风华信息装备股份有限公司
吉永商事株式会社
鹏城半导体技术（深圳）有限公司
北京妫水科技有限公司
昂坤视觉（北京）科技有限公司
山西中电科新能源技术有限公司
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主题方向
1、宏观趋势与产业现状
·碳化硅全球发展趋势、现状及应用前景；
·国内产业政策分析、产业需求研判；
·国产装备现状、行业发展痛点及未来展望；
·资金、人才、技术、市场等关键要素分析；
2、技术方向与产业环节
·碳化硅晶体生长、加工工艺及相关装备技术；
·外延材料生长、芯片制造等核心工艺技术及装备
·封装材料、工艺及装备技术；
·氮化镓、氧化镓等新型半导体材料、工艺和装备；
3、产业配套及供应链
·衬底、外延、器件等设计软件及检测装备；
·石墨/涂层/清洗/特气等配套材料、工艺装备协同优化；
·产品性能/良率/可靠性等要素分析与改进；
·生产流程控制、工艺优化与产业链协同创新；
4、规模应用与市场探索
·车用碳化硅/氮化镓器件技术进展；
·碳化硅功率器件技术进展及应用前景；
·产业化进展及装备需求；
·市场动力、核心竞争力塑造与面临挑战。
时间地点
2023年5月5-7日
湖南·长沙·圣爵菲斯大酒店
日程安排(具体报告陆续更新中)
开幕大会日程安排
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时间 |
主要安排 |
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5月5日 |
09:00-13:00 |
报到&资料领取 |
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13:30-17:30 |
开幕大会+圆桌对话 |
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18:00-21:00 |
欢迎晚宴 |
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5月6日 |
09:00-12:00 |
分论坛1：碳化硅关键装备、工艺及配套材料技术 |
分论坛2：氮化镓、氧化镓及其他新型半导体 |
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12:00-13:30 |
午餐&交流 |
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13:30-17:30 |
分论坛1：碳化硅关键装备、工艺及配套材料技术 |
分论坛2：氮化镓、氧化镓及其他新型半导体 |
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18:30-20:30 |
晚餐&结束 |
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5月7日 |
09:00-12:00 |
商务考察活动&返程 （中国电子科技集团公司第四十八研究所或泰科天润或湖南三安半导体） |
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备注：仅供参考，以现场为准。 |
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平行论坛1：
备注：目前报告顺序不分先后，最终日程将持续更新，敬请关注！
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平行论坛1：碳化硅关键装备、工艺及配套材料技术 |
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时间：第二天 • 5月6日 • 09:00-12:00,14:00-17:30 |
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主题：SiC MOS器件可靠性制造技术及装备 嘉宾：王德君--大连理工大学教授 |
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主题：国产化碳化硅注入机发展情况 嘉宾：罗才旺--北京烁科中科信电子装备有限公司副总经理 |
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主题：SiC MOSFET器件及其应用研究的思路和探索 嘉宾：王俊--湖南大学超大功率半导体研究中心主任，教授 |
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主题：碳化硅产业链布局 嘉宾：湖南三安半导体有限责任公司 |
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主题：适配xEV动力域控制器的SIC电机控制器 嘉宾：陈文杰--阳光动力电控研发中心总监 |
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主题：碳化硅器件与水冷散热器的低温直连技术探索 嘉宾：梅云辉--天津工业大学电气工程学院 院长 |
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主题：SIC晶圆全制程质量控制解决方案 嘉宾：邹伟金--苏州高视半导体技术有限公司副总经理 |
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主题：碳化硅长晶炉石墨热场结构的国产化探索 嘉宾：赵丽丽--哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司董事长 |
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主题：碳化硅功率半导体模块精准动静态特性与可靠性测试解决方案 嘉宾：陆 熙--忱芯科技技术总监 |
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主题：碳化硅外延核心技术的产业化应用 嘉宾：孔令沂--杭州海乾半导体有限公司董事长 |
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主题：碳化硅材料及器件减薄工艺解决方案 嘉宾：刘国敬--北京中电科电子装备有限公司副总经理 |
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主题：碳化硅晶圆减薄装备技术现状及发展趋势 嘉宾：尹韶辉--湖南大学教授 |
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主题：大规模量产型碳化硅外延设备技术进展（TBD） 嘉宾：方子文--AIXTRON SE中国区副总经理 |
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主题：碳化硅在新能源汽车中的应用挑战 嘉宾：TBD |
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主题：碳化硅单晶用碳化钽技术（TBD） 嘉宾：宁波恒普真空科技股份有限公司 |
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主题：先进抛光技术助力量产型大尺寸碳化硅制造 嘉宾：孙占帅--北京特思迪半导体设备有限公司工艺部部长 |
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主题：半导体设备用SiC部件材料开发及应用 嘉宾：余盛杰--湖南德智新材料有限公司CTO |
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主题：碳化硅同质外延层厚度无损红外反射光谱法测试分析 嘉宾：雷浩东--布鲁克（北京）科技有限公司应用工程师 |
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备注：以上报告顺序不分先后，最终日程将持续更新，敬请关注！ |
备注：平行论坛日程安排正在逐一敲定中，后续每日将持续更新！
拟参会单位
山东天岳，天科合达，河北同光，山西烁科晶体，南砂晶圆，东莞天域，英飞凌，安森美， 瀚天天成，瞻芯电子，清纯半导体，蔚来汽车，中南大学，湖南大学，基本半导体，士兰微，高意半导体，中科院半导体所，中科院物理所，武汉大学，武汉理工大学，国防科技大学，AIXTRON SE, 中电科四十六所，中电科二所，中电科十三所，中电科五十五所，晶越半导体，小鹏汽车，山东大学，理想汽车，长安汽车、超芯星，中电化合物，世纪金光，浙江大学，西安交通大学，复旦大学、海乾半导体、富士电机、三菱电机.....
更多报主题安排
平行论坛报告主题安排
1.第三代半导体产业发展现状及挑战
2.第三代半导体关键装备的现状及国产化思考
3.碳化硅器件制造关键装备及国产化进展
4.SiC器件和模块的最新进展
5.第三代半导体材料外延生长装备现状及展望
6.碳化硅涂层石墨盘技术
7.8英寸碳化硅单晶进展
8.国产MBE 设备进展
9.SiC衬底制备技术现状、趋势及工艺研究
10.SiC电力电子器件制造及其典型装备需求
11.SiC功率器件制造工艺特点与核心装备研发
12.SiC MOS器件结构设计
13.激光剥离设备国产化进展
14.先进碳化坦涂层技术
15.车用碳化硅技术进展
16.银烧结设备技术
17.SiC高温热处理设备及工艺应用
18.激光退火技术
19.SiC外延装备及技术进展
20.碳化硅离子注入设备技术
21.SiC晶体生长、加工技术和装备
22.抛光装备国产化之路
23.8寸碳化硅外延制备技术
24.8寸碳化硅衬底技术进展
25.第三代半导体材料生长装备与工艺自动化
26.化合物半导体工艺设备解决方案
27.GaN器件及其系统的最新研究进展
28.Si衬底GaN基功率电子材料及器件的研究
29.GaN晶片的光电化学机械抛光加工
30.第三代半导体材料加工设备及其智能化
31.激光技术在第三代半导体领域的应用
32.碳化硅单晶生长用石墨技术
33.碳化硅/氧化镓等缺陷检测
34.碳化硅基氮化镓HEMT技术
35.金刚石半导体技术
36.碳化硅半导体功率器件测试方案
37.碳化硅基氮化镓产业化进展及装备需求
38.光隔离探头测试技术
39.电子特气在第三代半导体产业中的应用
40.金刚石单晶生长技术
41.SiC单晶制备与装备研发进展
42.半导体电子特气国产化进展
43.半导体晶圆清洗设备国产化进展
44.碳化硅IGBT 技术进展及应用前景
45.车用氮化镓器件技术进展
46.第三代半导体二手设备市场现状与存在问题
47.硅基氮化镓MOCVD设备技术进展及趋势
48.氧化镓单晶/衬底外延及功率器件技术
备注：以上部分报告主题仅供参考，报告嘉宾正陆续确认中，后续将集中公布。
注册报名：
1、注册费2500元，4月29日前注册报名2200元（含会议资料袋，5月5日欢迎晚宴、5月6日自助午餐、晚餐）。企业展位预定中，请具体请咨询。
2、交通费、住宿费等自理。
展览展示
为促进产业链企业充分展示交流，组委会开辟出少量展示席位，数量有限，预订从速。详情可咨询会议联系人。
缴费方式
1、通过银行汇款
开户行：中国银行北京科技会展中心支行
账 号：336 356 029 261
名 称：北京麦肯桥新材料生产力促进中心有限公司
2、线上注册缴费
备注：在线注册平台注册请务必填写正确，以便后续查询及开具发票。
3、现场缴费（接受现金和刷卡）
4、收款单位：本届论坛指定“北京麦肯桥新材料生产力促进中心有限公司”作为会议唯一收款单位。
报告及论文发表联系：
Frank 贾：18310277858，jiaxl@casmita.com
会议报名/参展/赞助咨询：
贾先生：18310277858，jiaxl@casmita.com
张女士：13681329411，zhangww@casmita.com
张先生：18601159985，zhangtk@casmita.com
协议酒店：
会议酒店： 长沙圣爵菲斯大酒店
酒店地址：湖南省长沙市开福区三一大道471号
协议房价：
·五星酒店房间：大/ 双 床房 含双早 468元/晚
·三星酒店房间：大/双 床房 含双早 258元/晚
（备注：三星酒店单独用餐区用早餐，不能享用酒店健身房和游泳池，具体可咨询酒店联系人）
预订联系人：李子都 圣爵菲斯大酒店营销经理
电话:14726987349
邮箱:136379346@qq.com