中国科学院长春光机所黎大兵研究团队喜获吉林省技术发明一等奖

发表于:2023-12-26 来源:半导体产业网 编辑:

 近日,吉林省人民政府发布了《吉林省人民政府关于2023年度吉林省科学技术奖励的决定》(吉政函〔2023〕80号),其中,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、奥趋光电技术(杭州)有限公司、楚赟精工科技(上海)有限公司合作项目“低缺陷氮化铝材料制备关键技术及其深紫外光电器件”项目荣获吉林省技术发明一等奖。所有完成人:1黎大兵,2孙晓娟,3吴亮,4徐春阳,5蒋科,6贲建伟,7张山丽,8王琦琨,9林桂荣,10石芝铭;所有完成单位:1中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,2奥趋光电技术(杭州)有限公司,3楚赟精工科技(上海)有限公司。

2023年度吉林省技术发明一等奖共三项,另两项技术发明一等奖分别为“复杂服役环境工模具表面损伤仿生功能化数字修复新技术”(吉林大学等)、单细胞多维信息纳米成像检测与操纵技术及应用(长春理工大学等)。据悉,2023年度吉林省科学技术奖共评选出奖励项目281项(人),包括技术发明奖6项(一等奖3项、二等奖3项),自然科学奖74项目(一等奖4项、二等奖34项、三等奖36项),科学进步奖200项(一等奖28项、二等奖73项、三等奖99项),国际科学技术合作奖1人。

氮化铝、碳化硅、氮化镓等宽禁带半导体材料是新一代固态光源、电力电子、微波射频器件的“核芯”,是全球半导体技术研究前沿和战略竞争的制高点,美、日、欧等各国政府均积极进行战略部署,支持开展各项研究计划。AlN具有高禁带宽度(6.2eV)、高热导率、高击穿场强、良好的紫外透过率、化学和热稳定性等优异性能,与金刚石一起称为终极半导体材料。其中,氮化铝作为衬底材料在紫外光电器件(UVC-LED、紫外激光器、紫外传感)、各类射频器件/功率器件及国防军工(紫外预警、高功率X波段相控雷达、保密通信)等领域有广泛应用前景。美国氮化铝单晶制备技术及相关产品十多年来一直对华封锁与禁运,也是《中国制造2025》绿皮书重点支持战略新材料。

关于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(简称“长春光机所”)始建于1952年,由长春光机所与长春物理所于1999年整合而成,是新中国在光学领域建立的第一个研究所,主要从事发光学、应用光学、光学工程、精密机械与仪器的研发生产。

建所70年来,长春光机所在以王大珩院士、徐叙瑢院士等为代表的一批科学家的带领下,研制出中国第一台红宝石激光器、第一台大型电影经纬仪等多种先进仪器设备,创造了十几项“中国第一”;组建、援建了10余家科研机构、大专院校和企业单位,并为其输送了2200多名各类专业人才;有27位在本所学习或者工作过的优秀科学家当选为两院院士,并涌现出“知识分子的优秀代表”蒋筑英等众多英模人物;先后参加了“两弹一星”、“载人航天工程”等多项国家重大工程项目,为我国国防建设、经济发展和社会进步做出了突出贡献。

进入知识创新工程以来,长春光机所坚持以科技创新为核心的“研产学并举”发展理念,在科研领域攻克了多项关键技术,取得了以神舟系列有效载荷为代表的一批重大科研成果。现有18个研究部室,其中国家重点实验室/工程中心6个、中科院重点实验室2个。长春光机所园区占地面积1平方公里,建筑面积41万平方米,园区结构合理、功能齐全、设施先进、环境优美。作为中科院博士生重点培养基地,长春光机所设有硕士点9个、博士点7个、博士后流动站3个,在学研究生千余人。

长春光机所现有在职职工2500余人,其中国家级各类领军人才15人,国务院政府特殊津贴获得者37人。通过实施科学的人才培养和评价体系,形成了创新人才辈出、创新成果不断涌现的良好态势。

长春光机所的各项工作得到社会各界的大力支持和充分肯定,曾荣获多项奖励和荣誉称号。2000年以来,获得国家及省部级科技成果奖励165项,其中国家科技进步特等奖3项,国家科技进步奖、国家发明奖、国家自然科学奖共28项,中科院、省部级一等奖78项。2002-2003年,连续两年获得“全国五一劳动奖状”,2011年被评为“全国先进基层党组织”,2014年被授予“全国文明单位”称号。

关于奥趋光电技术(杭州)有限公司

奥趋光电是由海归博士团队、半导体领域顶尖技术专家领衔,于2016年5月创立的高新技术、创新型企业,总部位于浙江省杭州市。奥趋光电核心专注于第三代/第四代超宽禁带半导体氮化铝晶圆衬底材料、蓝宝石基/硅基/碳化硅基氮化铝/氮化铝钪薄膜模板、全自动氮化铝PVT气相沉积炉及其相关产品的研发、制造与销售,核心产品被列入《中国制造2025》关键战略新材料与装备目录,是制备深紫外LED芯片、5G射频前端滤波器、MEMS压电传感器等各类紫外发光器件、高温/高频射频器件、高频/高功率电子及激光器件的理想衬底/压电材料。

奥趋光电经过多年的高强度研发投入,于2019年成功开发出全球最大,直径60mm的氮化铝单晶及晶圆,并于2022年开发出直径达76 mm的铝极性氮化铝单晶及3英寸晶圆样片,奥趋光电同时也是全球首家蓝宝石基氮化铝薄膜模板大批量制造商。目前可向客户提供2英寸及以下尺寸高质量氮化铝单晶衬底、2/4/6英寸蓝宝石基/硅基/碳化硅基氮化铝、氮化铝钪薄膜模板、氮化铝单晶气相沉积炉及热处理设备等产品,同时向客户及合作伙伴提供从设备设计、热场设计、热场模拟仿真技术开发、咨询及生长工艺优化到晶圆制程等全环节的完整工艺解决方案与专业技术服务。截止2023年11月,共申请/授权国际、国内专利60余项,是全球范围内本领域专利数量最多的团队之一,被公认为本领域全球技术的领导者。

关于楚赟精工科技(上海)有限公司

楚赟精工科技(上海)有限公司成立于2014年,是一家化合物半导体全领域材料生长装备制造国产化企业,以MOCVD和CVD装备为核心产品,致力于第三代半导体装备和材料技术的研发与产业化,提供专业、定制的化合物半导体领域核心技术装备和新材料工艺。公司员工约30%拥有博士或硕士学位,在上海浦东张江拥有1000多平米的研发中心。公司专注于:(1)MOCVD、专业CVD等半导体高端装备定制研发、生产制造和技术服务;(2)高新材料定制生长与合作研究探索。